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Crystal Growth Furnace for Silicon Components
硅部件級單晶爐
 
在惰性氣體環境中，采用石墨加熱器將硅材料熔化，用直拉法生長無錯位硅部件級單晶的設備，可兼容24英寸晶棒，兼容超導磁場。

  • 副室直徑

    650mm

  • 可拉制超大晶棒

    26寸

大尺寸，高品質
高精度控制系統&完善的監控與反饋機制&可定制化磁場選配&可拉制26寸超大硅部件級晶棒

+86-0510-81816658

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