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LAC200是一款經(jīng)濟(jì)型8寸晶圓清洗設(shè)備，采用水氣二流體系統(tǒng)產(chǎn)生高壓噴霧，噴霧沖擊產(chǎn)品表面和切割道，用于晶圓切割后的高效清洗。